Устройство очистки аргона и других технических газов "Эпишур-А СЛ" «Эпишур-А СЛ» — серия автономных установок, предназначенных для тонкой очистки и осушки таких технических газов как аргон, гелий, азот и водород.
Применяется в работе с абсорбционными, оптическими эмиссионными спектрометрами и другими приборами, использующими инертный газ в качестве:
плазмообразующего газа в спектрометрах с RLC, ИСП и микроволновым разрядом; газа-носителя в хроматографии,
а также в качестве защитной среды: - при дуговой, плазменной или лазерной сварке;
- при выращивании кристаллов германия и кремния;
- в производстве полупроводников.
Устройства могут быть использованы в системах циркуляции газа для решения широкого спектра исследовательских и производственных задач, требующих чистой инертной среды или заданного газового состава в герметичных камерах (боксах), технологических установках и помещениях.
В настоящее время лабораторная и производственная практика предъявляет весьма высокие требования к чистоте технологических газов. В процессе эксплуатации оборудования с защитными средами происходит непрерывное загрязнение их воздухом и другими активными газами, проникающими через неплотности системы или выделяющимися в результате протекающих технологических процессов. Указанные обстоятельства обусловливают необходимость комплектования данного оборудования аппаратурой для тонкой очистки газов.
Покупка «Эпишур-А СЛ» обеспечит ваше предприятие проверенным продуктом, разработанным и собранным опытными инженерами и физиками высокой квалификации. У нас Вы можете также приобрести все необходимые комплектующие, получить консультацию по оптимальному выбору модели и техническую поддержку.
Технические особенности устройства «Эпишур-А СЛ»
Высокая сорбционная ёмкость фильтров, рассчитанная на реальное качество используемого газа, получаемое при загрязнении газовых баллонов у пользователей а также в результате рабочих процессов в боксах; Независимый нагрев фильтров, позволяющий использовать различную конфигурацию видов сорбентов и катализаторов в зависимости от типа очищаемого газа; Возможность интеграции в устройство электронных датчиков и сенсоров для контроля степени очистки газа по основным примесям загрязнения; Автоматическая система контроля заданных параметров режимов работы устройства; Широкий диапазон допустимого давления в газораспределительной системе устройства - от вакуума до 5 МПа; Регенерация фильтров без отключения устройства от газовых магистралей через дополнительные клапан и отвод; Эффективная фильтрация выходящего газа от пыли и других мелких частиц размером до 1 мкм; Большой выбор соединительной арматуры, обеспечивающей высокую герметичность во всех технологических процессах.
Принцип действия
Используемая в «Эпишур-А СЛ» четырёхступенчатая система газоочистки позволяет обеспечить надёжную подачу газа требуемых параметров и в необходимом объёме к потребителю, поддерживает высокий уровень чистоты по примесям — менее 0,5 ppm общего загрязнения. Выбор применяемых для этого фильтров определяется техническими условиями работы устройства и типом очищаемого газа:
Очистка водорода от кислорода осуществляется путём его каталитического гидрирования; Для удаления из аргона и других инертных газов примесей кислорода, азота, водорода используется метод их хемосорбционного взаимодействия с твёрдыми поглотителями; Процесс осушки газов от исходно присутствующей и реакционной влаги реализуется посредством её адсорбции на молекулярных ситах.
Регенерация фильтров производится термическим способом с автоматическим регулированием температурных режимов.
Для работы в системах циркуляции газов «Эпишур-А СЛ» оснащаются мембранными насосами-компрессорами. При этом обеспечивается непрерывное нагнетание потоков газов и их смесей в технологиях с применением как избыточных давлений, так и вакуума.
Основные технические характеристики модификаций «Эпишур-А СЛ»
Параметры | Эпишур-А 100 СЛ | Эпишур-А 12 СЛ | Эпишур-А 04 СЛ | Эпишур-А 32 СЛ | Эпишур-А 21 (212; 204; 232) СЛ | Производительность, max л/мин | 10 | 30 | 100 | 500 | 30-500 | Предполагаемый уровень загрязнения газа на входе, ppm | ≤ 50 | 70-150 | 100-300 | 300-1000 | 70-1000 | Уровень загрязнения газа на выходе (базовое исполнение устройства), ppm | < 0,5 | < 0,5 по объёмной доли влаги | Уровень загрязнения газа на выходе (с использованием фильтров финишной очистки), ppt | <100 по H2O, O2, CO, CO2, H2 (для очистителей азота и аргона). Фильтрация от механических частиц 0.003 мкм | - | Фильтрация от механических частиц, мкм | ≥1 (≥ 0,01 по отдельному запросу) | Время выхода в рабочий режим, мин. | 15 | 15 | 30 | 60 | 7 | Потребляемая мощность в рабочем режиме, кВт | ≤1 | ≤1 | ≤2 | ≤3 | ≤1 | Масса, кг | 30 | 40 | 57 | 190 | Стандартные корпуса Эпишур-А СЛ | Габаритные размеры, мм | 750x420x 320 | 730x590x 360 | 1130x610x390 | 1800x840x580 |
Производитель постоянно стремится к усовершенствованию устройств «Эпишур-А СЛ», создавая все более эффективные, надежные в работе и удобные в использовании модели газоочистительного оборудования.
|